激光自混合干涉仪的实验研究

分析了激光自混合干涉仪位移测量误差及特点,提出了干涉仪的设计原则。对激光自混合干涉仪的系统稳定性与测量分辨力进行了实验研究,给出了改善系统稳定性与测量分辨力的有效方法。