用全息照相测量压力传感器膜片的变形 (1974年)

膜片式压力传感器是靠气压作用在膜片上，使膜片产生相应的变形。再经过机电技能转换成输出的电讯号。因此在研制和生产这类压力传感器中，需要对膜片的变形情况进行测量分析，但这种膜片很薄（一般厚度仅百分之几毫米），使用范围内变形小，同时膜片的面积也较小，用常规手段来测量是很困难的。而全息照相对于解决这一类问题却有独到之处。在测量过程中无需与被测表面接触，具有很高的灵敏度（０．１。即可引起可分辨的条纹变?...