Al2O3/SiNx叠层膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的研究

Al2O3/SiNx叠层膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的研究 ，王禹钧，张炳烨，本文主要研究了同一退火时间下不同退火温度对n型CZ-Si单层厚度为8nm的Al2O3膜钝化效果的影响，发现在退火时间为25min的情况下，退火温�