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:基于迈克尔逊干涉仪的位移测量系统设计 :本文主要探讨了基于迈克尔逊干涉仪的高精度位移测量系统的开发与应用，涉及了位移测量的重要性和国内外研究现状，以及系统设计的具体内容。 在微电子和其他精密加工领域，位移测量技术是不可或缺的组成部分，它对于提高加工精度和产品质量起着关键作用。迈克尔逊干涉仪作为一种精密的光学测量工具，因其高精度和稳定性，在位移测量中得到了广泛应用。本文作者马清源在导师任秀云的指导下，设计了一套基于迈克尔逊干涉仪的位移测量系统，旨在实现更高精度的测量效果。 系统的核心在于使用He-Ne激光器作为光源，配合迈克尔逊干涉仪，通过细分变相电路进行信号处理。在测量过程中，系统采用两个光电二极管收集干涉圆环信号，经过放大和整形后，由单片机进行计数处理，从而得到位移信息。测量结果不仅会显示在主板屏幕上，还能通过单片机的串口发送给上位机，实现远程监控或数据分析。 在理论分析方面，文章详细介绍了迈克尔逊干涉仪的工作原理，推导了干涉圆环变化与位移之间的关系，为实际的硬件设计提供了理论基础。此外，作者设计了基于STM32F103C6T6单片机的控制板，配合光电传感器、运算放大器和整形电路，确保了信号的准确采集和处理。Proteus软件用于电路的仿真验证，确保了设计方案的可行性。 实验阶段，作者搭建了测试平台，利用压电陶瓷产生的位移进行实际测量，收集多组实验数据，并对结果进行了严谨的分析，验证了系统的测量精度和稳定性。整个系统在避免人为计数错误的同时，实现了位移的自动化精确测量。 在CNKI大学生论文检测系统的检测中，该论文的总文字复制比仅为1.5%，表明其原创性较高。尽管在中英文摘要部分发现了与另一篇文献的部分重合，但经过合理引用和处理，其去除引用文献复制比同样保持在1.5%，证明了作者对已有研究成果的尊重和正确引用。 基于迈克尔逊干涉仪的位移测量系统设计是一篇深入研究光学测量技术的论文，它在理论分析、硬件设计和实验验证方面都有详实的内容，对于位移测量技术的提升和实际应用具有重要的参考价值。