收稿日期: 20081110
作者简介: 宋丽君( 1978 ) , 女, 陕西省西安市人, 博士生, 主要从事导 航技术的 研究。秦永 元( 1946) , 男, 江苏常 熟人, 教授, 博士生导 师,
长期从事惯性导航和组合导航系统、最优估计理论、数字信号处理及 G PS 信号处理的研究。
文章编号: 10042474( 2010) 03037203
MEMS 陀螺仪的一种实用标定法
宋丽君, 秦永元
( 西北工业大学 自动化学院, 陕西 西安 710072)
摘 要: 主要介绍了一种微机械系统( M EM S) 陀螺 仪的速 率标定 法, 根据 M EMS 陀螺仪的输 出数学模 型, 详
细推导了如何得到 M EM S 陀螺仪的输出数学模型中的零 漂、刻度因数和安装误差, 并在得 到其标定系数后将其封
装在 C 函数中进行验证实验。通过实验 数据分 析可知, M EM S 陀螺仪速 率标定 法原理简单, 易于实现, 且精度 较
高。此标定法所得到的 M EM S 陀螺仪输出数 学模型 能较 准确地反映其输 出, 且 M EM S 陀螺 仪的线性度有所 改
善。
关键词: 微机械系统( M EM S) 陀螺仪; 误差模型; 速率标定; 刻度因数; 安装误差; 线性度
中图分类号: V 241 文献标识码: A
A Practical Calibration Method on MEMS Gyroscope
SONG Lijun, QIN Yongyuan
( A u tomation Colleg e, NorthW es tern Poly T echnical University, Xian 710072, China)
Abstract: A velocity ca librat ion method of M EM S gr yo sco pe has been intr oduced in this paper . The zer o drift,
scale facto r and t he installation er ro r in the mathematic model o f M EM S gy ro sco pe has been deriv ed based on the
output model o f M EM S gy ro sco pe. Aft er obtaining the calibratio n co effiient, it was enca psulated in the function of
C to be v erified ex per imentally. T he experiment results show ed t hat this velocity calibratio n met ho d w as simple in
pr inciple, easy to realize and hig h accuracy. T he output model of M EM S g yr oscope can r eflect its o ut put accurately.
T he linearity o f M EM S gy ro sco pe has been improv ed.
Key words:t he g yr oscope o f M EM S; er ro r mo del; calibr ation of velocity; scale factor s; erro r of installation;
no nlinearit y
微机械系统( M EM S) 陀螺仪是一种基于微机
械电子系统的新型全固态陀螺仪, 与传统的机械陀
螺相比, 它具有体积小, 质量轻, 成本低, 可靠性好,
测量范围大, 易于数字化和智能化等突出优点。用
硅材料制作 MEM S 陀螺仪不仅使传统的陀螺仪实
现微型化, 且因硅的微加工技术与集成工艺技术的
相容性, 可将敏感器件与处理电路完全集成在一个
硅片上, 从而实现了陀螺仪真正意义上的机电一体
化。
惯性导航系统( IN S, 简称惯导) 是一种 不依赖
于任何外部信息, 也不向外辐射能量的自主式导航
系统, 它不仅具有良好的隐蔽性, 且其工作环境包括
空中、地球表面和水下。另外, 惯导所提供的导航数
据十分安全, 具有数据更新率高, 短期精度和稳定性
好的优点。这些使惯性导航系统在军事导航及民用
导航领域中起着越来越大的作用。
惯性导航系统工作精度在很大程度上取决于陀
螺仪的工作精度。但即使原理和结构都相当完善的
陀螺仪也存在着各种干扰因素引起的误差而影响到
惯导系统的工作精度。陀螺仪误差与有关物理量之
间关系的数学表达式称为陀螺仪的误差数学模型。
通过误差数学模型可设计一些方法来补偿陀螺的各
种误差以提高系统的工作精度。因此, 建立陀螺仪
误差数学模型并设法在惯性系统中进行补偿, 是惯
性技术领域中的一个重要课题
[ 1]
。
1 M EM S 陀螺仪的数学模型
通过一系列专门实验方法来标定或估计陀螺仪
的性能参数是使用陀螺仪的一项重要任务, 而所有
测试问题的讨论都是以陀螺仪的误差数学模型为基
础的。不同条件下的陀螺仪测试方法之间有许多共
同点, 由此 可总 结出一 些较 普遍实用的 原理 方
法
[ 23]
。
M EMS 陀螺仪对捷联惯导系统的姿态误差产
生直接影响, 其主要表现是 MEM S 陀螺仪固定常值
漂移、陀螺仪的安装误差对捷联惯导系统的姿态误
差的影响。由于 MEM S 陀螺仪的精度相对较差, 达
第32卷第 3期 压 电 与 声 光 V ol. 32 N o. 3
20 10年6月 P IEZOEL ECT RICS & A COU ST O OP T ICS June 2010