薄膜物理与技术-7 薄膜的物理性质--(5) 薄膜的热学性质1
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第七章 薄膜的物理性质
7.5薄膜的热学性质
7.5.1 薄膜热导率的测量方法
7.5.2 薄膜热扩散率的测量方法
7.5.3 薄膜热容的测量方法
7.5.4 薄膜热膨胀系数测量方法磁阻效应
功能薄膜在许多方面表现出与块状材料明显不同的热学性质。
两方面原因：
（1）薄膜的厚度薄的特点引起的极大的表面体积比；
（2）由于成膜过程是逐个粒子的凝聚，这使得薄膜具有特殊
的微观物理结构。
薄膜的热导率低于宏观情况下的相应值。
对薄膜热学参数的测试与表征主要集中在热导率、热扩散率、
比热容和热膨胀系数等参数方面。
7.5 薄膜的热学性质
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