芯片视觉检测技术是利用机器视觉的方法对半导体芯片进行质量检测,这种方法在微电子制造中起到了非常重要的作用。随着半导体技术的不断发展,对芯片的质量要求越来越高,这就需要更加高效的视觉检测技术来满足生产需求。芯片视觉检测的核心问题之一就是芯片的识别与定位,这个问题的解决对于实现后续的检测任务至关重要。 芯片识别与定位的算法主要分为两大类:基于图像处理的特征提取方法和基于模式识别的匹配策略。在本文中,作者汤晓燕研究了梯形分层搜索的序贯相关判决算法来解决这一问题。该算法基于SSDA(Sequential Similarity Detection Algorithm)序列相似性检测算法,并在此基础上引入了梯形分层搜索结构,以提高搜索效率和匹配精度。 SSDA算法由Bames和Silverman于1972年提出,它的优势在于使用更为简单的相似性度量方法,计算量较少,并通过归一化处理来减小计算复杂度。SSDA算法具有三种形式,包括固定门限的SSDA、单调递增门限序列的SSDA和自适应门限序列的SSDA。自适应门限序列的SSDA算法因其在实际应用中的优异表现,被广泛采用。 梯形分层搜索的序贯相关判决算法的核心思想是,通过逐层降低图像分辨率来进行目标搜索,这样可以大幅度缩小搜索范围,从而提高匹配速度。序贯相关判决法则是在每层图像中通过序贯相关性算法进一步提高搜索精度。具体步骤包括:首先对图像进行分层处理,形成金字塔式的图像序列;然后自上而下逐层计算与模板的相似度;接着采取序贯相关算法,通过分块计算来加速匹配过程;最后通过计算确定最佳匹配位置。 芯片视觉检测的定位算法实现需要一套完整的硬件环境,包括工业控制计算机、高性能处理器以及足够的内存。在实验中,作者使用了凌华科技的A301工业控制计算机、Intel Core 2220双核处理器和2GB DDR800内存,并通过C++Builder编程环境实现算法。实验结果表明,使用该定位算法能够准确地检测到芯片的引脚缺陷,大大提高了检测的实时性、准确性和可靠性。 在现代半导体器件的生产过程中,视觉检测技术已经成为了不可或缺的一环。该技术能够确保半导体器件的质量,尤其是在IC后道封装工序中,实时高速、高精度、高可靠性的质量检测和定位对于提高生产效率和保证产品质量都具有决定性意义。随着技术的不断进步,芯片视觉检测技术也在不断更新和发展中,能够应对更加复杂的检测需求。 本文通过对芯片视觉检测的定位算法的研究与实现,不仅提供了具体的算法实现方法,还通过实验验证了算法的有效性,为后续的相关研究与实际应用提供了参考和指导。随着自动化和智能化在制造业中的深入应用,未来芯片视觉检测技术将会朝着更高水平的智能化、自动化方向发展,以满足不断增长的市场需求。
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