LV_HV Twin-Well BCD[B]技术(2)芯片与制程剖面结构.pdf

LV/HV Twin-Well BCD[B]技术是一种集成电路制造技术，它能够实现MOS器件（金属氧化物半导体器件）和双极型器件（如晶体管）在不同电压范围内的兼容。这项技术能够使低压5V的MOS器件与高压100～700V的MOS器件兼容，同时也能让低压5V的双极型器件与高压30～100V的双极型器件兼容。这种兼容性对于集成电路的设计和生产至关重要，因为它允许设计师在一个芯片上集成不同类型的器件，以满足各种电气性能的要求。 在LV/HV Twin-Well BCD[B]技术中，引入了源区为硼磷双扩散形成沟道的具有漂移区的偏置栅结构的HVLDMOS器件。HVLDMOS指的是高电压纵向扩散金属氧化物半导体器件，是一种特殊的MOSFET，它能够在较高的电压下工作，并且具有良好的耐高压特性和低导通电阻。在漂移区长度、宽度、结深度以及掺杂浓度等方面的调整，可以得到不同的高电压耐受性能。这种设计上的灵活性使得该技术非常适合于需要高压工作环境的应用场景。 该技术同时也涉及到HV双极型器件的形成，这意味着设计者可以在同一个芯片上集成高压工作的双极型器件和MOS器件。这对于那些需要同时处理模拟信号和数字信号的应用来说非常重要，因为双极型器件在模拟电路中拥有无可比拟的优势，而MOS器件则更擅长处理数字信号。 芯片结构设计、工艺与制造技术在这一技术中扮演着关键角色。采用这些技术和方法，能够得到所需的芯片制程结构。这种结构设计允许在芯片制造过程中精细控制每个器件的特性，以确保最终产品的质量。这涉及到材料的选择、制造工艺的优化、掺杂水平的精准控制等多个方面。 根据提供的文档内容，作者潘桂忠是上海贝岭股份有限公司的高级工程师，长期致力于MOS集成电路芯片结构与制造技术的研究和开发。他参与了多个工厂的LSI生产线的启动和运转，并负责了多种工艺技术的研发以及多种集成电路的生产。这些背景说明了作者在该领域的深厚背景和实践经验，也凸显了文档的权威性和实用性。 总结来说，LV/HV Twin-Well BCD[B]技术是一种先进的半导体工艺技术，它通过一系列设计和制造方法，实现了高压MOS器件和高压双极型器件在同一个芯片上的集成。这项技术对于提高芯片的功能性、减少体积和成本、增加集成电路的适用范围都具有重大的意义。随着集成电路技术的不断进步，我们可以预见LV/HV Twin-Well BCD[B]技术在未来电子元件设计和制造中的重要地位将愈加凸显。