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探针台、探针卡
TEL P8探针台能在特定的设定下按照规定的行程进行移动,XY轴采用低
惯性步进电机,在运行过程中极大的减少了误差,Z轴行程可达95mm精度控
制在2um内,极大的保证了针压的稳定性;它的载片台能承载厚度在
180~1000um 的4~8英寸晶圆,单SITE(管芯/芯片)尺寸可测范围在
300~76000um,既最小尺寸300*300um;机器本身最多能容下两个晶舟盒(每
个晶舟盒能容载晶圆25片),共五十片晶圆;台盘可选配可控变温功能,温
度范围在-10℃~150℃能满足一些特定要求的测试。
P8探针台拥有先进的视觉系统,在特定的设置下它能够自动调节灯光镜
头焦距找到特征点,并确定晶圆芯片的位置生成坐标,自动生成晶圆的MAP
图,计算出待测芯片的数量。后续可根据实际要求对MAP图进行修改。