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传感器与检测技术-光栅编码器.pptx
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检测技术
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传感器与检测技术
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光栅传感器检测位移
Contents
目 录
一、光栅的结构及原理
二、莫尔条纹
三、光栅的辩向技术
五、光栅传感器的应用
四、细分
1
光栅的结构及原理
光栅的结构及原理
1
2
3
光栅的
概念
计量光
栅的组
成
计量光
栅的种
类
光栅的结构及原理
a=b w=a+b
W
W
越
越
小
小
，
，
分
分
辨
辨
力
力
越
越
高
高
。
。
光
光
栅
栅
刻
刻
线
线
一
一
般
般
分
分
为
为
每
每
mm10
mm10
线
线
、
、
25
25
线
线
、
、
50
50
线
线
、
、
100
100
线
线
、
、
200
200
线
线
等
等
几
几
种
种
。
。
（一） 光栅的概念
具有周期性刻度分布的光学元件。
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