5.2.1精密、超精密加工
一、加工方法
5.2
5.2
超
超
精
精
密
密
加
加
工
工
和
和
超
超
精
精
密
密
加
加
工
工
的
的
认
认
知
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03
超精密切削及磨
削、精密研磨
光刻加工
化学蒸气沉积
真空沉积
精度0.1nm
真空镀膜的工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。
由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得
粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果
真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜
是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频
磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速
轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子
）沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品
种，如镀钛镀锆等等。
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