KDY—1型四探针电阻率方阻测试仪.pdf

KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪是一种专门用于测量半导体材料电阻率和方阻的精密仪器，适用于硅单晶、锗单晶、硅片等材料的检测，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶等的方块电阻测量。该测试仪由主机、测试架和四探针头三部分构成，具有高精度的恒流源，能够实时监控测量电流并避免测量过程中的火花问题。 仪器的特点在于其双数字表设计，可以在测量电阻率的同时监控电流变化，提高测量效率和准确性。主机提供的恒流源精度为0.05%，确保了电流的稳定性。此外，配备的“小游移四探针头”具有极低的探针游移率，保证了测量的重复性和准确性。当与HQ-710E数据处理器配合使用时，可以自动进行厚度、直径、探针间距的修正，计算并打印电阻率、径向电阻率的变化等参数，简化测量过程。 测试仪的结构包括主机板、电源板、前面板、后背板和机箱，各部件通过接插件连接。工作原理基于恒流源通过四探针头（1、4探针）提供稳定的测量电流，探针头（2、3探针）测量电位差，通过特定公式计算电阻率。对于不同厚度的样品，有相应的计算公式，例如厚度小于4倍探针间距的样品和厚度大于4倍探针间距的样品，计算方式有所不同。 使用方法涉及面板和背板的操作。面板左侧的电流表显示电流值，通过电流选择开关设定所需电流。面板右侧的电压表显示电压测量值，ρ/R键和手动/自动档的选择非常重要，以确保正确的测量结果。背板上的电缆插座需要正确连接，以保证测试的准确性。 KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪是一款高精度、多功能的半导体材料电阻率测量设备，适用于科研和生产环境，其设计和功能旨在提供可靠的测量数据和便捷的操作体验。