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ZnO气体半导体传感器简单介绍PPT学习教案.pptx
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ZnO气体半导体传感器简单介绍PPT学习教案.pptx
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会计学
1
ZnO
气体半导体传
感器简单介绍
气体传感器是将外界气体的信息转换成电信号传递给控制
中心,从而实现检测、自动控制和报警等功能。
早期,气体传感器主要用来检测易燃性气体的泄漏和报警。
80
年代后,随着纳米技术、生命科学、人工智能等相关
科学的发展,气体传感器也得到了巨大的发展,其检测和
应用范围也得到了扩大。 从食品方面的鱼肉蔬菜水果新鲜
度检测,到厨房住宅的易燃易爆、有毒有害气体检测;从
化工生产的现场流程检测,到环境保护中的污染气体的检
测,各个方面都有所应用。
气体传感器的应用
第
1
页
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共
12
页
半导体气体传感器分类
类型
物性
材料
检测气体
半导体
气体传
感器
电
阻
式
表面控制型
Sn02
、
ZnO
、
In20
3
、
W03
、
V
。
05
、
Al2O3
、有机半
导体等。
CCl
:
F2
、
CO
、
NO
、
N
H3
、乙醇、丙酮、甲
醛等
体控制型
Y——Fe203
、
Q
—Fe203
、
C03O4
、
SrSnOs
、
T
i02
、
SnQ
、
CoO
、
MnO
等
可燃性气体、
O2
等
非
电
阻
式
金属/半导体结
Pd
/
CdS
、
Pd
/
Ti
02
、
Pd
/
ZnO
、
Pt
/
T
i02
、
A
u
/
T
i02
等
H2
、
CO
、
SiH4
等
Pd—MOS
Pd—MOS
H2
、
CO
、
SiH4
等
AET
Pd
、
Pt
、
Sn0
≥
一
A
ET
Cl2
、
H2S
等
FET
Pd—MoSFET
H2
、
H2S
、
NH3
、
CO
等
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