集成电路静态缺陷检测系统对MRAM测试实验数据

摘要 数据集包含了使用自己设计的集成电路静态缺陷扫描定位系统用于检测MRAM器件的静态缺陷的激光扫描时的电参数变化数据，通过分析异常芯片的数据和正常芯片对比，确定可能出现异常损伤的区域。