SEMI E5标准，全称为SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT (SECS-II)，是半导体行业中一个重要的通信协议标准。该标准由全球信息与控制委员会技术批准，并在2006年由全球审计和审查分委会批准发布。SEMI E5旨在规范设备与设备、设备与自动化系统的通信，确保数据传输的准确性和效率。
标准中的一个重要警告指出，使用某些特别是涉及Stream 4的实现可能涉及美国德州仪器公司持有的专利。SEMI在发布此标准时，并不就任何专利权的适用性或有效性发表立场，使用者需自行判断可能涉及的专利权利以及侵权风险。
标准的主要内容包括：
1. **目的**：定义了SECS-II消息内容标准，目的是促进半导体生产设备之间的标准化通信，提高生产效率和数据交换的可靠性。
2. **范围**：涵盖了消息传输协议、流与功能、交易和对话协议、数据结构等多方面的通信规范。
3. **限制**：明确了标准应用的界限和条件，如Stream 4可能涉及的专利问题。
4. **引用标准**：列举了其他相关标准，这些标准对理解和实施SEMI E5是必要的。
5. **术语**：定义了关键术语，为理解标准提供了基础。
6. **消息传输协议**：包括消息的意图、结构、阻塞需求、消息头、交易超时等规定，确保数据传输的完整性和安全性。
7. **流和功能**：定义了不同的流（如Stream 0至Stream 6）及其各自的功能分配，如Stream 0用于一般控制，Stream 1表示设备状态，Stream 2处理设备控制和诊断，Stream 3提供材料状态信息，Stream 4用于材料控制，Stream 5处理异常情况，Stream 6则通常用于数据传输。
8. **交易和对话协议**：详细说明了交易定义、交易层需求和对话协议，确保通信的有序进行。
9. **数据结构**：定义了数据结构的意图、项目、列表、本地化字符字符串项等，以便于封装和解析通信中的数据。
10. **消息详细信息**：描述了各种流和功能的具体使用方式，包括每个流的功能和作用。
SEMI E5标准是半导体制造自动化中的基石，它确保了不同厂商设备之间的互操作性，减少了集成难度，提高了生产线的灵活性和生产效率。通过理解并遵循这一标准，工程师可以更有效地设计和实现半导体生产设备的控制系统。
