半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCADPPT课件.pptx

半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD Sentaurus TCAD 是一个功能强大的半导体工艺及器件仿真工具，它继承了 Tsuprem4、Medici 和 ISE-TCAD 的特点和优势，提供了全面的产品套件，包括 Sentaurus Workbench、Ligament、Sentaurus Process、Sentaurus Structure Editor、Mesh Noffset3D、Sentaurus Device、Tecplot SV、Inspect、Advanced Calibration 等等。 Sentaurus TCAD 可以用来模拟集成器件的工艺制程、器件物理特性和互连线特性等。 Sentaurus Process 和 Sentaurus Device 可以支持的仿真器件类型非常广泛，包括 CMOS、功率器件、存储器、图像传感器、太阳能电池和模拟/射频器件。 Sentaurus TCAD 还提供了互连建模和参数提取工具，为优化芯片性能提供关键的寄生参数信息。它可以模拟各种类型的器件，包括 CMOS、功率器件、存储器、图像传感器、太阳能电池和模拟/射频器件等。 Sentaurus Process 是当前最为先进的工艺仿真工具，它将一维、 二维和三维仿真集成于同一平台中，并面向当代纳米级集成电路工艺制程，全面支持小尺寸效应的仿真与模拟。 Sentaurus Process 提供了许多有用的功能，包括模型参数数据库浏览器（PDB）、一维模拟结果输出工具 Inspect、二维、三维模拟结果输出工具（Tecplot SV）、小尺寸模型等等。这些功能可以帮助用户更好地仿真和模拟半导体器件的制程和性能。 Sentaurus TCAD 除了提供仿真工具外，还提供了许多有用的命令和语句，例如 exit、fbreak、fcontinue、fexec、interface、load、logfile、mater、mgoals 等等，这些命令和语句可以帮助用户更好地控制和操作 Sentaurus TCAD。 Sentaurus TCAD 是一个功能强大且实用的半导体工艺及器件仿真工具，广泛应用于半导体器件的设计、仿真和制造等领域。