第 7 章 光学薄膜性能监测技术
对高性能的光学薄膜器件的制备,性能测试是十分重要的;
随着光学制备技术的发展,复杂结构薄膜器件的制备成为可能;
只要能测出来的特性就一定能制备出来;
光学薄膜测试技术主要包括:
光学特性:光谱反射、透射以及器件的光学损耗 ( 吸收和散射);
薄膜光学参数测试: n 和 d ;
非光学性能监测:附着力、附着能、应力和耐环境条件实验能
力;
光学薄膜应用范围广泛,器件的光学特性以及几何结构形
状各异,所以薄膜器件的监测技术也必须适应器件特点;
薄膜性能提高,要求测试新的特性参数、更高江都测试技
术不管出现。
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