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UPW纯水系统PPT课件.pptx
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2021-10-07
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27页
UPW纯水系统PPT课件.pptx
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引言
•
UPW 是服务生产工艺的一部分 , 另外还有 CDS 、特气、大宗气体等。
•
超纯水的制程随原水水质而有不同的方式,主要是去除水中的不纯物,如
微粒子、有机物、无机盐类、重金属及生菌等
第 1 页 / 共 27 页
主要用途( GMIC )
•
超纯水主要供集成电路芯片生产的清洗用水,且用量较大。另外还提供一
些生活用水,以及 PCW (工艺冷却水系统)、膨胀水箱、加湿器等都会
用到不同程度的纯水。
•
为了满足工艺设备对水质的要求,必须考虑输送材料、流速、合理的输送
系统的设计
第 2 页 / 共 27 页
Typical Components of a Semiconductor UPW
System
第 3 页 / 共 27 页
脱气塔 2ND RO水槽 二级反渗透
抛光混床纯水槽
脱气塔
水泵去离子回收水槽
紫外线杀菌器混床
超滤
水泵水泵
水泵 板式换热器 紫外线杀菌器 紫外线杀菌器
12终洗水
From UF
3. 2
15. 2
15. 2
预处理水糟 一级反渗透 1ST RO中间水槽板式换热器水泵原水槽 多介质过滤器水泵
55. 3
自来水
55. 3
55. 3
活性炭过滤器
52. 6
67. 8 67. 8
67. 8 72. 6
4. 8
54. 4
48. 4
43. 6
43. 643. 643. 643. 6
43. 643. 2
0. 4
to I WWT
43. 2
20
40
63. 2 63. 2
63.
2
63. 2
63. 2
63. 2
60
3. 2
至去离子回收槽
去离子回收系统
18. 1
RO至 槽
(1)至工艺回收冷却水
(4)至加湿器
(1)至膨胀器
超纯水制造区
超纯水抛光区
UPW系统流程图及水量平衡图
2. 6
to I WWT
纯水系统的组成单元
•
MMF 和 AC
•
RO
•
UF
•
MB
•
EDI
•
POLISH
•
UV
•
脱气塔
•
以下介绍各部分的作用
第 4 页 / 共 27 页
MMF 和 AC
•
MMF( 多介质过滤器 ) 和 AC (活性炭过滤器)是
作为 RO 的预处理,对 RO 膜起保护作用。
•
预处理原水首先加入絮凝剂和混凝剂,可以降低浑
浊度(使微小颗粒凝聚变大,重力沉降有助于过
滤) , 去除悬浮物和胶体等杂质。
•
加入 NaHSO3 去除余氯(将氯还原),防止 RO
膜被氧化,活性炭也有吸附余氯的作用。
•
为了提高出水质量和加强对 RO 膜的保护,现在通
常用 UF 作为预处理 。
第 5 页 / 共 27 页
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资源评论
- 2301_762282142023-01-17资源太好了,解决了我当下遇到的难题,抱紧大佬的大腿~
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