电子探针分析的基本原理早在 1913 年就被 Moseley 发现,但直
到 1949 年,法国的 Castaing 才用透射电镜( TEM )改装成一台
电子探针样机。
1955 年 Castaing 在法国物理学会的一次会议上,展出了电子探
针的原形机, 1956 年由法国 CAMECA 公司制成商品, 1958 年
第一台电子探针装进了国际镍公司的研究室中。
扫描型电子探针商品是 1960 年问世。 70 年代开始,电子探针和
扫描电镜的功能组合为一体,同时应用电子计算机控制分析过程
和进行数据处理。
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