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会计学
1
——
静电敏感与执行
原理
微传感器的概念
微传感器:基于
MEMS
工艺的
,能把被测物理量
转换为电信号输出的器件,通常由敏感元件和传输
元件组成。
MEMS
微传感器原理框图
第
1
页
/
共
51
页
微传感器是今天最广泛使用的
MEMS
器件,
通常使用集成电路工业中发展起来的手段和技术
来制造,比如微金属版印制技术、刻蚀技术等,
也采用专门为微传感器制造开发的新技术。
微传感器的概念
第
2
页
/
共
51
页
微传感器的概念
微传感器的
技术指标
:
量程:
测量范围上限值和下限值的代数差。
灵敏度:
传感器的在稳态下输出变化对输入变化的比
值
线性度:
传感器输出与输入之间的线性程度。
分辨率:
指在规定测量范围内可能检测出的被测量的
最
小变化量。
零轴稳定性
重复性:
传感器在输入量按同一方向作全量程多次测
试
时所得特性曲线不一致程度。
频响范围:
在规定误差条件下,传感器可以正常工作
的频率区间。
第
3
页
/
共
51
页
微传感器的概念
对于线性传感器,它的灵敏度就是它的静态
特性的斜率,即
。非线性传感器的灵敏度
为一变量。一般希望传感器的灵敏度高,在满量
程范围内是恒定的,即传感器的输出
--
输入特
性为直线。
灵敏度
第
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