非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质.pdf

发明专利说明书。本发明实施例公开了一种非球面元件面形 检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其 中，方法包括将待测非球面元件的子孔径检测数 据输入至预先利用样本数据集训练深度学习网 络模型得到的面形分布计算模型中，得到各子孔 径的相对位置和重叠区域