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量測系統分
析
(MSA
)
Measu
remen
t Sys
tem A
nalys
is
MSA III (Mar.2003)
內部教育訓
練用
(
教材
系列八
)
AFOP Johnny
編撰
May.04.2004
修訂
1. MS
A
概念
1.1
製程變異是經由檢測而發現,故量測系統之準確度與精確
度必須事先加以研究與分析。
1.2
製程變異源概分為人、
材料、
設備、
方法、
量測、
環境等類別,
而這些變異
源也將是影響量測系統準確度與精確度的因素。
1.3
準確度與精確度
A.
準確但不精確
B.
精確但不準確
●
●
●
●
●
●
C.
不準確也不精確
D.
準確且精確
●
●
●
●
●
●
1.4
在未能確定量測系統之準確與精確度適合量測對象前,
使用該量測系統所得
到的檢測結果或製程能力將不可信賴。
1.5
影響量測系統準確度與精確度的因素
因
素
校
驗
使
用
人
實驗室專業人員
管制計畫規劃的使用者
被測物
主規
管制計畫規劃的產品或製程特性
設備
被研究的設備
被研究的設備
方法
國際或國家標準
自定標準且使用者可能未遵守
環境
標準實驗室環境
管制計畫規劃的現場
環境變化造成的熱漲冷縮將可能影響被測物與檢測設
備,且使用者不同其使用方法也可能不同,都可能影響檢
測的信賴度,故檢測設備非但需要校驗且需進行
MSA
,以
確保檢測的結果的可信度。
例如:
A
公司
B
公司
產品規格
3±0.5mm
3±0.5
µ
m
生產環境
30℃
30℃
量規熱漲冷縮總合
+0.0001mm
+0.0001mm
熱
漲
冷
縮
佔
產
品
規
格比率
0.0001mm÷1.0mm
=
0.01%
0.0001mm÷0.001mm
=
10%
環境影響檢測結果
小
大
改善
免
溫控於
23±5℃
2.
MSA
類型
◎計量值─
穩定性研究
┬
偏性研究
─
線性研究
└
R
&
R
研究
├全距法
(
無法分再生性與再現性
)
├平均值與全距法
(
無法分人與樣
│
├圖表分析
本之交互作用
)
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