【报告篇幅】：93
【报告图表数】：165
2023 年全球批量晶圆清洗系统市场销售额达到了 26 亿美元，预计 2030 年将达到 39 亿美
元，年复合增长率（CAGR）为 5.8%（2024-2030）。地区层面来看，中国市场在过去几年变化
较快，2023 年市场规模为 百万美元，约占全球的 %，预计 2030 年将达到 百万美元，届时全
球占比将达到 %。
批量晶圆清洗系统的发展趋势集中在提高效率、降低成本、提高自动化水平。 制造商正
在开发新的清洁技术，可以有效去除晶圆上的污染物而不造成损坏。 这包括使用先进的化学
品、等离子清洁和超声波清洁。 将晶圆清洗工艺与光刻和蚀刻等其他制造步骤相结合的趋势
日益明显。 这有助于简化整个生产流程并减少处理步骤的数量。 随着机器人技术和先进控制
系统的集成，批量晶圆清洗系统变得更加自动化。 这样可以实现更快、更精确的清洁，并减
少手动干预的需要。
本报告研究全球与中国市场批量晶圆清洗系统的产能、产量、销量、销售额、价格及未来
趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品特点、产品规格、价格、销量、销售收入及全
球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为 2019 至 2023 年，预测数据为 2024 至 2030
年。
主要厂商包括：
Tokyo Electron
TAKADA Corporation
Applied Materials
Lam Research
SCREEN Semiconductor
Micro Engineering
TAKADA
