单晶操作事故预防条例.pdf

《单晶操作事故预防条例》主要涵盖了在单晶硅生产过程中可能出现的各种操作事故及相应的预防措施，旨在确保生产安全和产品质量。以下是对条例中的关键知识点的详细解释： 1. **防止硅液泄漏**：硅液泄漏可能导致设备损坏和安全事故。为避免此情况，需检查石英坩埚的应力和耐热性，适时升降坩埚，合理装料，适当化料，注意硅料的形状和内部结构，以及硅料的清洗质量。 2. **防止石墨三瓣坩埚破裂**：这涉及到石墨坩埚的表面和内部状态检查，避免使用有缺陷或氧化严重的坩埚，并确保内部垫有石墨纸以增加耐用性。此外，检查石墨三瓣坩埚的材料和剩余厚度也是必要的。 3. **防止二次加料事故**：二次加料时，要注意加料器的操作，避免石墨伞掉入硅液或接触炉壁，同时确保加料器的清洁，防止密封圈失效。 4. **加热器打火的预防**：检查石英护套完整性，固定加热器螺栓，小心装料，保持底部碳毡清洁，预防硅液泄漏和加热器电极过高等问题。 5. **水管堵塞的处理**：稳定进水和出水压力，保证水质清洁，及时清除堵塞物，确保水管循环畅通。 6. **炉内硅液结晶与钢丝绳断裂**：控制降温速率和液面温度，确保加热功率稳定，使用纯度高的硅料，定期更换钢丝绳并检查其状态，避免钢丝绳过度磨损。 7. **导流筒掉落或偏离**：检查盖板和导流筒支撑环的完整性，确保大盖安装牢固，及时停掉埚转以防塌料影响导流筒。 8. **主副泵油位检查**：每次启动前检查油位，确保油质洁净，避免油位过低。 9. **主泵主阀和副泵副阀操作**：遵循先开泵后开阀的顺序，监听异常声音，预防空气逆流。 10. **取光孔（测温孔）对正**：每次装料时确保取光孔对准，以便准确测量温度。 11. **升降操作**：升降坩埚和籽晶时需全程监控，直至到达指定位置。 12. **锅升电源开启**：只在等晶状态下开启锅升电源，其他情况关闭。 13. **装料注意事项和石英坩埚检查**：严格检查石英坩埚，确保无损伤、杂质和毛刺，装料过程要避免挂边和硬塞，保持料的洁净。 14. **检漏标准**：通过冷检和热检检测炉内是否漏气，标准是冷检10分钟压力不超过2帕，热检不超过1帕，检漏应在主阀主泵氩气关闭下进行。 15. **翻板、倒气事故预防**：在主付室操作时要格外小心，确保阀门操作正确，避免气体逆流。 这些预防措施都是为了保障单晶硅生产过程的安全和效率，降低设备损坏和生产事故的风险。在实际操作中，严格按照规程执行是防止事故发生的根本。