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表面分析技术原理和仪
器
表面分析的特点
表面是固体的终端
,表面向外一侧
没有近邻
原子,表面原
子有部分化学键伸
向空间,形成“悬
空键”。因此表
面具有与体相不
同的较活跃的化学
性质。
表面
指物体与真空
或气体的界面。
表面分析
通常研究
的是固体表面。
表面有时
指表面的单原
子层,有时指上面
的几个原子,有
时指厚度达微
米级的表面层。
是用一个探束
(
光子或原子、电子、离
子
等
)
或探针
(
机械加电场
)
去探测样品表面并在两
者相互作用时,从样品
表面发射及散射
电子、离
子、中性粒子
(
原子或分子
)
与
光子等,检测这
些微粒
(
电
子、离子、光子或中性粒
子等
)
的能
量、质荷比、束流强度
等,就可以得到
样品表面
的形貌、原子结构
(
即排列
)
、
化学组成、价态
和电子态
(
即电子结构
)
等信息
。
表面分析技术的特点
表面“形貌”分析
指“宏观”几何外形分析
。主要应用
电子、离子显微镜
进行观察分析,
当显微镜的分辨率
达
到原子级时,可观
察到原子排列,
这时“形貌”分析和
结
构分析之间就没有
明确的分界。
扫描电子显微镜
(Scanning Electron Microscope
,
SEM
)
离子诱导扫描电子显微镜
(Ion Induced Scanning Eletron
Microscope
,
IISEM
)
场离子显微镜
(Field Ion
Microsco
pe
,
F
IM
)
扫描隧道显微镜
(Scann
ing T
unne
lling
Microsco
pe
,
STM)
原子力显微镜
(Atom Force M
icroscop
e
,
AFM)
表面组分分析
包括表面元素组成、
化学态及其
在表层的分布测定
等。后者涉及元
素在表面的横
向和纵向
(
深度
)
分布。主要应
用:
X
射线光电子能谱
(X
-
ray Photoelec
tron Spec
troscop
y
,
XPS
或
Electron Sp
ectrosco
pe for Che
mical
Analy
sis
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俄歇电子能谱
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