光刻
“挑战杯” 光刻成像分析
轮廓提取与线宽提取部分
轮廓提取
轮廓的定义?
技术路线
对于图像轮廓边缘的提取,采用John F. Canny提出Canny边缘检测算子。相比Sobel、Prewitt等算子,Canny算法更为优异,它能够基于边缘梯度方向进行非极大值抑制,同时对双阈值的滞后阈值进行处理。
Canny算法能够保证所有边缘都应被找到,且没有伪响应。同时,图像的边缘能被很好地定位,已定位的边缘尽可能接近真实边缘。当图像中仅存一个单一边缘点的位置,Canny算法能够保证检测器不指出多个像素边缘。从表面效果上来讲,Canny算法是对Sobel、Prewitt等算子效果的进一步细化和更加准确的定位。
实现Canny算法的步骤如下:
Step1:对输入图像进行高斯平滑,降低错误率。
Step2:用一阶偏导的有限差分来计算梯度的幅值和方向。
Step3:根据梯度方向,对梯度幅值进行非极大值抑制。本质上是对Sobel、Prewitt等算子结果的进一步细化。
Step4:用双阈值处理和连接边缘。
代码实现
基于OpenCV库,Step1中对应的高斯模糊可以通过cv2