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半导体设备国产替代深化，行业增量空间广阔
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主要观点:
► 全球前道设备市场增速放缓，大陆市场成长性强劲
半导体咨询机构 SEMI 报告预测半导体制造设备全球总销售额
预计在 2022 年再次突破记录达到 1175 亿美元，同比 2021 的
1025 亿美元增长 14.7%，全球半导体设备作为一个具有显著的
周期性特点的行业，实现罕见的连续四年的快速增长。而自
2022 年末以来随着上游晶圆厂扩产周期收缓，下游消费需求放
缓，受到台积电等 fab 缩减资本开支影响，2023 年全球设备市
场将随着晶圆厂扩产的周期同步波动，增速放缓。从国内市场
而言，供应链结构合理化和地缘政治的需求，带来了国内设备
市场国产替代的动能。
► 芯片工艺制程不断推进，多重曝光技术带来新需求
芯片生产制造产线的精细化，随着工艺制程的不断推进，14nm
更先进制程需要 EUV 光刻机进行制备，但在先进制程设备采购
受限的背景下，先进制程扩产需要较成熟型号的光刻机配合多
重曝光技术重复“涂胶-光刻-显影-刻蚀”等工艺流程以做到
更小线宽。通过多重曝光配合 DUV 光刻机所需的工序步骤，时
间大幅增加，同时对精度要求极高。因此，刻蚀，沉积，涂胶
显影等设备因为工艺的因素得以在 14nm 制程产线中得到更多
的用量，需求量对比 28nm 制程提升明显。
► 国产替代步入新阶段，设备厂商收入体量显著增长
随着 2023 年 H1 业绩的陆续披露，国内主流设备厂商在保持营
收利润高增的态势下，也取得了显著的订单增长，这在海外制
裁的背景下是极为不易的。根据公司公告，中微公司，北方华
创等平台型龙头公司不断完善产品布局，多领域业务迅速增
长，拓荆科技，华海清科，中科飞测，芯源微，万业企业，盛
美上海等企业订单不断增加。根据中芯国际财报，2023 年 Q2
公司产能利用率为 78.3%，相较第一季度上涨了 10.2pct，公
司判断 23H2 出货量及销售收入将好于上半年。因此，我们看
好下游代工厂及封测厂稼动率在 23H2 将进一步改善，从而推
动设备公司的收入确认以及订单在 2023 年下半年持续向好。
风险提示
下游扩产不及预期，国际制裁风险增加。
评级及分析师信息
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行业评级：
推荐
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行业走势图
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分析师：胡杨
邮箱：huyang@hx168.com.cn
SAC NO：S1120523070004
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半导体 沪深300
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2023 年 09 月 24 日
证券研究报告发送给东方财富信息股份有限公司。版权归华西证券所有，请勿转发。 p1
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