对传统光杠杆测量微小位移的原理进行改进,可以将微位移量放大100量级以上 ,测量系统的理论分辨率为4 nm、 实测 分辨率小于 10 nm
评论星级较低,若资源使用遇到问题可联系上传者,3个工作日内问题未解决可申请退款~