电镀金刚石线锯的超声纵振动切割加工方法_张辽远_机械工程专业论文范文模板、范本.pdf
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电镀金刚石线锯的超声纵振动切割加工方法
张辽远
1 2
贾春德
2
吕玉山
2
1长春理工大学 吉林 长春 130022 2沈阳理工大学 辽宁 沈阳 110168
摘要 利用自制的实验设备研究电镀金刚石线锯的超声纵振动切割加工脆性材料 实验结果
表明 该种加工方法与相同实验条件下的非施加超声振动相比 具有加工材料去除率高 表面质量
好 破碎小等特点 为硬脆材料的切割提供一种新的有效加工方法
关键词 机械制造工艺与设备 硬脆材料 超声波加工 金刚石线锯 表面质量
中图分类号 TG156 文献标志码A 文章编号 10001093200605089904
A Machining Method on Electroplated Diamond Wire Saw with
Ultrasonic Vibration
ZHANG Liaoyuan
1 2
JIA Chunde
2
LU Yushan
2
1Changchun Univercity of Science and Technolog y Changchun 130022 Jilin China
2Shenyang Ligo ng University Shenyang 110168 Liao ning China
Abst ract The ultrasonic vibration cutting processing of electroplated diamond wire saw f or hard and
bri ttle materials w as researched The ex perimental result show s that the cutting method features high
removing rate high surf ace quali ty and small crushes compared to nonultrasonic vibration process
This is a new and effective method in cutting hard and bri ttle materials
Key words m anufacturing processes and equipment hard and brittle m aterial ultrasonic machining
diamond w ire saw surface quality
收稿日期 2005 11 29
基金项目 辽宁省教育厅高等院校科学研究项目L N 566
用金刚石线锯切割半导体脆性材料的工艺最早
由M ech 于 20 世纪 70 年代提出
1
Ebner 进行了
早期线锯加工实验 由 1 个主动轮鼓和 1 个从动滑
轮组成的往复式试验机床 金刚石锯丝的两端绕过
滑轮分别固定在轮鼓径向的两端 电机驱动轮鼓带
动锯丝往复运动 Ebner 用之进行切割 得到 了小
于04 mm 的切片厚度 20 世纪 80 年代 出现了可
用于硅片切割的金刚石多线锯 其中 Kojima 的多线
精密锯切割装置
2
Anker 的金刚石线锯切割玻璃
和天然石材的特征
3
Russ 和 Bueb 金刚石线锯的
关键技术
4
M alanghlia Hab 金刚 石 线 锯 精 密 切
割
5
等分别从不同角度研究了金刚石线锯切 割技
术Anderson 使用日 本 Yasunager 公司的 YQ100
金刚石多线锯进行了硅切片实验 得到的切缝宽度
小于 016 mm 表面损伤层深度小于 5 m
6
尤其
是近些年来 金刚石线锯得到了快速发展 对其研究
也更为深入
1 电镀金刚石线锯的超声纵振动切割加工
目前 固结磨料金刚石线锯受制造工艺限制 应
用和研究相对较少 Clark 等人使用木材和泡沫陶
瓷作为试件 对切割力进行在线测量 研究了固结磨
料的金刚石锯丝的寿命以及工艺参数对切割力力
比和加工表面粗糙度的影响
78
由于设备 资金
和工艺的限制 国内的研究多为自制实验设备 并用
石材作试件进行实验 从金刚石线锯设备制造切割
质量 切割机理和失效机理几方面进行了探索 樊
瑞新和卢焕明对比线锯切割硅片和内圆锯切割硅片
第 27 卷第 5 期
2 0 0 6 年 9 月
兵 工 学 报
ACT A A RMA M EN T ARI I
Vol27 N o 5
Sep 2006
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