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ESD模型和测试标准.ppt
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2021-12-22
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介绍 HBM,MM.CDM,IEC模型,电流等级,测试方法,非常齐全的资料
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http://esd.iclab.cn
ESD 模型及有关测试
1 、 ESD 模型分类
2 、 HBM 和 MM 测试方法标准
3 、 CDM 模型和测试方法标准
4 、 EIC 模型和测试方法标准
5 、 TLP 及其测试方法
6 、拴锁测试
7 、 I-V 测试
8 、标准介绍
1 、 ESD 模型分类
因 ESD 产生的原因及其对集成电路放电的方式不同
,经过统计, ESD 放电模型分下列四类 :
(1) 人体放电模式 (Human-Body Model, HBM)
(2) 机器放电模式 (Machine Model, MM)
(3) 组件充电模式 (Charged-Device Model, CDM)
(4) 电场感应模式 (Field-Induced Model, FIM)
另外还有两个测试模型:
(5) 对于系统级产品测试的 IEC 电子枪空气放电模式
(6) 对于研究设计用的 TLP 模型
人体放电模式 (Human-Body Model, HBM)
•
人体放电模式 (HBM) 的 ESD 是指因人体在地上走动磨擦或其它因素在人体
上已累积了静电,当此人去碰触到 IC 时,人体上的静电便会经由 IC 的脚
(pin) 而进入 IC 内,再经由 IC 放电到地去,如图 2.1-1(a) 所示。此放电的过
程会在短到几百毫微秒 (ns) 的时 间内产生数安培的瞬间放电电流,此电流
会把 IC 内的组件 给烧毁。 不同 HBM 静电电压相对产生的瞬间放电电流与
时间的关系 显示于图 2.1-1(b) 。对一般商用 IC 的 2-KV ESD 放电电压而言
,其瞬间放电电流的尖峰值大约是 1.33 安培。
机器放电模式 (Machine Model, MM)
•
有关于 HBM 的 ESD 已有工业测试的标准:
•
图显示工业标准 (MIL-STD-883C method 3015.7) 的等效电路图,其中人体
的 等效电容定为 100pF ,人体的等效放电电阻定为 1.5KΩ 。
•
表是国际电子工业标准 (EIA/JEDEC STANDARD) 对人体放电模式订定测
试规范 (EIA/JESD22-A114-A)
机器放电模式 (Machine Model, MM)
•
机器放电模式的 ESD 是指机器 ( 例如机械手臂 ) 本身累积了静电,当
此机器去碰触到 IC 时,该静电便经由 IC 的 pin 放电。因为机器是金
属,其等效电阻为 0Ω ,其等效电容为 200pF 。由于机器放电模式的
等效电阻为 0 ,故其放电的过程更短,在几毫微秒到几十毫微秒之内
会有数安培的瞬间放电电流产生。
•
此机器放电模式工业测试标准为 EIAJ-IC-121 method20 ,其等效电
路图和等级如下:
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laoheitang
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