前端工艺和后端工艺.doc
需积分: 50 107 浏览量
2020-04-20
10:21:27
上传
评论 1
收藏 277KB DOC 举报
前端工艺和后端工艺
其实很久以前就接触过前端工艺（FEOL）和后端工艺（BEOL），但是以前没有详细的理
解过这两个概念，今天看资料的时候有看到了这两个概念，就做一次彻底的了解吧。
前端工艺（FEOL）： front-end of layout，就是指在模拟集成电路中 contact 之前的工艺，
也可以理解为晶体管的尺寸大小，例如 FEOL.5。通常指 NW，AA，SP，SN.........
后端工艺（BEOL）： front-end of layout，就是指在模拟集成电路中 contact 之后的工艺，
金 属 互 联 层 ， 也 可 以 理 解 为 metal 的 尺 寸 大 小 ， 例 如 BEOL.35 。 通 常 指
CONTACT,M1,V1,M2,V2........
FEOL=front-end of layout
BEOL=back-end of layout
以 contact 来分界，形成 device 以前的工艺流程为 FEOL ， 之 后 的 （也就是互联）为
BEOL。
前道工序(Front-End-Of-Line, FEOL)
后道工序(Back-End-Of-Line, BEOL)
资源评论
