非晶态As_2S_8半导体薄膜波导的热处理效应.pdf

"非晶态As_2S_8半导体薄膜波导的热处理效应" 本文研究了非晶态As_2S_8半导体薄膜在热处理下的结构变化效应。通过棱镜耦合技术和拉曼光谱测试技术，确认了As_2S_8薄膜经热处理后，薄膜密度增高和折射率增大。实验表明，淀积态非晶As_2S_8半导体薄膜经紫外光饱和照射后，再经退火处理，当光折变在退火温度不低于160°C时，出现不完全可逆现象，完全可逆程度与退火温度有关。 实验还显示，退火态非晶As_2S_8半导体薄膜在玻璃转化温度130°C时退火处理，光折变存在完全可逆现象。光传输实验显示，热处理后的非晶态As_2S_8半导体薄膜波导，其传输损耗减小了约4dB/cm。 这项研究结果表明，非晶态As_2S_8半导体薄膜在热处理下的结构变化对其光折变和光传输性能有着重要影响。这项研究结果为发展新的硫系非晶态半导体材料和光学器件提供了重要依据。 相关知识点： 1. 非晶态半导体材料：非晶态半导体材料是指其原子排列没有周期性规律的半导体材料。非晶态半导体材料的化学性质比晶态半导体材料更稳定，是一种软玻璃态半导体材料。 2. 硫系非晶态半导体材料：硫系非晶态半导体材料是指以硫元素为主体的非晶态半导体材料。硫系非晶态半导体材料具有良好的光学性能，是一种非常有前途的新型半导体材料。 3. 热处理效应：热处理是指对材料进行加热或冷却以改变其结构和性能的过程。热处理对非晶态半导体材料的结构和性能有着重要影响。 4. 棱镜耦合技术：棱镜耦合技术是一种测试材料折射率和膜厚的方法。棱镜耦合技术可以对非晶态半导体材料的折射率和膜厚进行测试。 5. 拉曼光谱测试技术：拉曼光谱测试技术是一种测试材料结构和性能的方法。拉曼光谱测试技术可以对非晶态半导体材料的结构和性能进行测试。 6. 光传输性能：光传输性能是指材料对光的传输能力。光传输性能是衡量半导体材料性能的重要指标。 7. 半导体薄膜波导：半导体薄膜波导是一种将半导体材料制备成薄膜并将其作为波导的设备。半导体薄膜波导可以应用于光通信和光电子器件中。 8. 光折变效应：光折变效应是指材料在光照射下发生折射率变化的现象。光折变效应是非晶态半导体材料的一种重要性能。 9. 热处理温度：热处理温度是指对材料进行热处理时的温度。热处理温度对非晶态半导体材料的结构和性能有着重要影响。 10. 玻璃转化温度：玻璃转化温度是指材料从柔软状态转化为玻璃态的温度。玻璃转化温度对非晶态半导体材料的性能有着重要影响。