半导体设备中铝合金精密零件尺寸稳定性工艺研究.pdf

《半导体设备中铝合金精密零件尺寸稳定性工艺研究》 在半导体设备制造中，铝合金精密零件的尺寸稳定性至关重要。本文主要探讨了LY12硬铝合金在半导体设备中的应用，以及如何通过工艺控制来确保这类高精度、薄壁零件尺寸的长期稳定。LY12硬铝合金因其高强度、良好的切削加工性和耐腐蚀性，成为半导体设备中广泛使用的材料。 文章指出，影响铝合金精密零件尺寸稳定性的主要因素包括热处理后的内应力。淬火后，LY12铝合金内部会形成较大的内应力，这些应力在自然时效过程中难以完全消除。因此，必须采取有效措施来减少或消除这些应力，以防止零件在后续加工、装配和使用过程中发生变形。 研究中，作者提出了一个人工时效处理配合三道冷热循环稳定处理的工艺方案。人工时效处理是通过在特定温度下加热材料，使其内部的应力得以释放。接着，采用冷热循环稳定处理，即反复进行冷却和加热的过程，进一步平衡材料内部的应力，以提高尺寸稳定性。这种方法确保了在零件加工、装配、产品测试、库存直至最终成品试验的整个过程中，原始加工精度不会发生变化。 此外，文章还强调了LY12铝合金在时效状态下的切削加工性能，这对于确保零件的精密加工非常重要。同时，考虑到部分零件具有复杂的结构和高精度要求，例如键和机系列中的前导轨基座和料条框架，这些零件的平面度和平行度等几何尺寸的精确控制对设备的可靠运行至关重要。 通过对影响因素的深入分析和工艺优化，该研究为半导体设备制造提供了科学的指导，有助于提高产品质量和设备的长期稳定性。参考文献的引用进一步增强了研究的权威性和实用性，为相关领域的技术人员提供了宝贵的参考信息。 《半导体设备中铝合金精密零件尺寸稳定性工艺研究》揭示了在半导体设备制造中，通过精心设计的工艺流程来控制铝合金零件尺寸稳定性的重要性。这一研究不仅对于提升半导体设备的精度和可靠性，而且对于推动整个半导体行业的发展都具有深远的影响。