【半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用】
在半导体制造行业中，能源效率和可持续发展是至关重要的议题。上海华虹NE电子有限公司作为中国大陆领先的集成电路制造商，面对日益严峻的能源短缺问题，采取了一系列节能措施，特别是在公用动力系统中实现了能源的互补再利用。这种策略不仅能有效节省能源，还能降低生产成本，符合国家的“节能减排”方针。
半导体工厂的公用动力系统主要包括干燥压缩空气系统（CDA）、工艺设备冷却水系统（PCW）和热水系统（Hot Water）。在冬季，这些系统存在同时需要冷却和加热的情况，这就为能源互补提供了可能。
1. **CDA系统**：为半导体工艺设备的气动元件提供驱动能源，使用冷冻水进行降温。通过热回收技术，可以将CDA系统产生的废热用于其他需要热量的环节，例如热水系统，从而减少对额外能源的需求。
2. **PCW系统**：用于冷却生产设备的发热部分，同样使用冷冻水。通过对PCW系统中冷冻水的热回收，可以进一步提高能源效率，比如将回收的热量用于预加热进入热水系统中的水。
3. **热水系统**：为空调供热，传统上依赖外购蒸汽。通过改进技术，可以将CDA和PCW系统回收的热能用于热水系统的加热，减少对外购蒸汽的依赖，降低了能源消耗。
华虹NEe的节能改造项目体现了其在环保和可持续发展方面的努力。自2002年以来，公司始终围绕“动力系统能源互补再利用”的主题，实施了一系列节能项目，成功实现了节能减排和降低成本的目标。这种能源互补策略不仅减少了对环境的影响，也提高了企业的经济效益。
总结来说，半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用是一种高效、环保的解决方案，通过技术创新和优化现有系统，可以显著提升能源利用率，降低能源成本，同时有助于应对全球能源挑战。这一实践对于整个半导体行业都具有重要的参考价值，展示了在追求科技进步的同时，如何兼顾可持续发展和经济效益。
