基于过程免疫时间的半导体企业电压暂降经济损失预评估方法.pdf

标题中的“基于过程免疫时间的半导体企业电压暂降经济损失预评估方法”是一种针对半导体企业在面临电压暂降事件时，预测经济损失的评估策略。这一方法强调了过程免疫时间（Process Immunity Time, PIT）在评估中的核心作用。过程免疫时间是衡量设备在电压暂降期间仍能保持正常运行的能力，它反映了设备在工艺参数不受影响的时间长度。 半导体企业是高度依赖电能质量的行业，电压暂降可能会导致生产中断，进而造成巨大的经济损失。文章指出，传统的评估方法通常基于电压暂降标准曲线和设备耐受度，但这可能不适用于新投入运营的生产线，因为它们通常缺乏足够的历史数据。 作者张旭彬等人提出的方法首先使用故障树分析法（FTA）来分析半导体生产过程，识别关键设备之间的逻辑连接关系。接着，结合实际测量的设备过程免疫时间，计算出整个生产过程的综合过程免疫时间。然后，通过历史电压暂降监测数据预测可能出现的生产中断次数。将生产中断次数与每次中断的经济损失相结合，预估总体经济损失。 这种方法的创新之处在于考虑了实际生产过程中设备的连接方式和过程参数的影响，更符合工程实际。实例分析证明，这种方法是可行的，对于新建半导体生产线选择电压暂降治理方案和制定生产计划具有指导意义。 引用的国内外研究文献显示，电压暂降是电能质量问题中最突出的，且其对高端制造业，特别是半导体产业，造成的经济损失巨大。早期的研究主要集中在概率分布函数和负荷故障率矩阵上，但未充分考虑设备的实际连接方式和过程参数。国家标准虽然提供了评估方法，但对新生产线的预评估不够适用。CIGRE/CIREDE/IEC 4.110工作组提出的PIT概念，为评估电压暂降影响提供了新的视角。 基于过程免疫时间的经济损失预评估方法是解决半导体企业电压暂降问题的一种实用工具，它有助于企业提前预测和减少潜在的经济损失，从而优化生产计划和投资决策。