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厂务设施中央监控系统设计指引.pdf

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厂务设施中央监控系统设计指

引

CERTIFIED

PROJ.

MGR DATE

INITIAL ISSUE

CLIENT DATE

REV. DESCRIPTION BY CHK. APPR. DATE

SHEET

GL-DG-MEP-I501

Facility Monitoring and Control System

Design Guide

厂务设施中央监控系统设计指引

技术手册

高科技项目

仪电组

厂务设施中央监控系统

DATE

设计指引

REV.

1.0

系統簡介 .......................................................................... 4

1.1

系統用途 .......................................................... 4

1.2

主要設備 .......................................................... 4

1.3

控制功能 .......................................................... 6

2.0

設計準則 .......................................................................... 6

3.0

設計步驟及注意事項 .................................................... 8

3.1

建立廠務監控系統架構圖 .............................. 8

3.2

依設備需求製作控制系統之 I/O

IST

........ 10

3.3

繪製各系統設備之控制流程(概念)圖 ......... 10

3.4

選擇相關軟體 ................................................ 11

3.5

控制器與儀器平面配置圖 ............................ 11

3.6

廠務監控系統規範書 .................................... 12

3.7

儀器規範書 .................................................... 12

3.8

完成廠務監控系統圖面設計與規範 ............ 13

3.9

圖面設計與規範書之校核、審定與核准 .... 13

3.10

圖面設計與規範書確認 ................................ 13

厂务设施中央监控系统

DATE

设计指引

REV.

1.0 系统简介

1.1 系统用途

半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂

房洁净的工作环境及稳定与安全的 Utility 供应系统，使工厂生

产线运作顺利，维持高良率。

负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需

之各系统之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大

都会有自己独立之监控系统(统称为 SCADA，Supervisory

Control And Data Acquisition System) 例如 Mep SCADA、

Clean Room SCADA、Power SCADA、WWT SCADA、DIW

SCADA….等。中央监控系统(FMCS)，简单的说是将许多不同

系统性质之监控子系统(SCADA)，进行信息之整合，进而形成

一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信

息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。

1.2 主要设备

厂务监控系统，主要之设备如下：

1. 控制器

‧ PLC (Program Logic Controller)可程控器

‧ DDC (Direct Digital Controller)直接数字控制器

‧ SLC (Single Loop Controller)单回路控制器

‧ DCS (Distribution Control System)分布式控制系统

目前半导体电子厂之 FMCS 架构大都以 PLC 或空调用 DDC

为 Base 较多。

2. 监控平台﹕

人机界面(Human Machine Interface，HMI)

广义而言，只要是提供操作者与机器设备沟通、操作，

控制及管理的工具接口，都算人机界面(HMI)，例如传

统的控制盘，Mimic Board，Annunciation，控制台

Operation Console...等。

在 FMCS 系统, 所有以往的操控接口都可在计算机上

执行，因此对现代的中央监控系统而言，HMI 指的是

透过 PC 及图控软件所执行的厂务监控设施。一般人机

界面包括:

‧ 监控计算机(Engineer、Operator and Other Viewer Station)

‧ 服务器(Data、Alarm、Web or Others Server)

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