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精品资料
平面度与光波带的关系
引用一本书上的内容:
1)根据干涉条纹计算平面度误差
测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹,如图所示,调整平晶位置,使之出现3~5条干涉带,则平面度误差的近似值为:
f= (v/ω)×(λ/2)
λ 为光波波长,白光的平均波长为 0.58μm,ν 为干涉带弯曲量,ω 为干涉带间距
但是如何精确确定 ν 和 ω 的值,我也很迷惑!
2)根据光圈计算平面度误差
若被测平面凹或凸,则会出现环形干涉带,调整平晶的位置,使干涉带数为最少,则平面度误差的近似值为:
f=(λ/2) ×n
λ 为光波波长,白光的平均波长为 0.58μm;n为平晶直径方向上的光圈数
示意图如下