.
.
石英坩埚使用中常见问题和解决方法
一、引言
在 Cz 法单晶的制备中,石英坩埚作为熔硅的载体有着其不可替代的作用。了
解石英坩埚的特性和掌握正确的方法对所有从事单晶制备的每一位从业人员来说
都是非常重要的。
二、石英坩埚的特性〔热学性能和结晶性能〕
1.热学性能:
热学性能主要表达在以下几个方面
〔1〕它的形变点为 1075℃
〔2〕它的软化点为 1730℃
2.结晶性能
〔1〕石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体〔方石英〕。这个过程称为
再结晶,也称为“失透〞,通常也称为“析晶〞。
〔2〕析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体
工业用石英玻璃在 1400℃±5℃下保温 6 小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100µm。
三、石英坩埚使用中的常见问题
1.析晶
1.1 产生析晶的原因
1.1.1 石英坩埚受到沾污,在所有对石英坩埚的沾污中,碱金属离子钾〔K〕、钠〔Na〕、
锂〔Li〕和碱土金属离子钙〔Ca〕、镁〔Mg〕这些离子的存在是石英坩埚产生析晶
的主要因素。
1.1.2 在操作过程中,因操作方法不当也会产生析晶如在防止石英坩埚和装填硅料
的过程中,带入的汗水,口水,油污,尘埃等。
. .jz.