GEM SEMI 标准(制造设备通信和控制的通用模型)或 SEMI E-30 描述了半导体设备应如何与 MES(制造执行系统)进行通信,在 GEM 标准中通常称为“主机”。 GEM 基于其他较低级别的标准,例如定义交换消息的 SECS-II、定义 RS-232 通信的 SECS-I 或通过 TCP/IP 进行通信的 HSMS。为了便于参考,所有这些标准通常被称为 SECS/GEM 或 GEM/SECS。
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