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薄壁筒体精圆整机构 (1)减速机通过依靠其上的传动链与装在主动轴上的链轮相连,而主动包胶轮与主轴利用底架上的轴承座来实现主体结构的装夹;(2)还存在两个另外的主动包胶轮,主要装在主动轴两端,其位置平行于主动轮所在的主动钢轮轴上;(3)最后的两个的主动钢轮,则对应前者的主动钢轮在底座的位置,平行的装卡从动钢轮,与此同时不可或缺的包胶轮也伴随着从动钢轮安装在活动滑台上;(4)活动滑台的运力来源无疑是靠电机及减速机中的输出轴提供的,但其上的丝杠与活动滑台上相对应的螺母啮合起到一定的驱动作用。其结构的基本布局如图1-1 所示,该系统设备结构紧凑,所需的作业场地占地面积小,操作简易大大节省了加工时间,还涵盖了检验质量高的优点。
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精圆老化测试上料机构sw20可编辑-SOLIDWORKS零件图-SOLIDWORKS工程图-三维3D设计图 (152个子文件)
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顶部夹紧机构.SLDASM 1.31MB
取放wafer真空组件.SLDASM 1.02MB
旋转装置0515.SLDASM 935KB
抽屉组件.SLDASM 811KB
LCR-8-30---S6__0_.SLDASM 786KB
HRQ100+__.SLDASM 760KB
EGH15CA.SLDASM 604KB
MGN12C.SLDASM 569KB
hg-t1010_STEP.SLDASM 535KB
CJ2B10-30Z(0_1_0).SLDASM 486KB
对射传感器ass.SLDASM 383KB
IDA61-200.SLDASM 365KB
MGW9H.SLDASM 354KB
齿轮齿条机构.SLDASM 344KB
C-BSS2005-500-KC12-BSA15-BTN15.SLDASM 324KB
C-BSS2005-500-KC12.SLDASM 314KB
6寸花篮带晶圆.SLDASM 241KB
滚轮装配体.SLDASM 227KB
42步进装配体.SLDASM 178KB
顶平模块.SLDASM 132KB
底座支撑.SLDASM 125KB
到位检测0510.SLDASM 91KB
EX-13EA-1.SLDASM 30KB
VAC31-F40-R28-N25-VDC32.SLDPRT 1.27MB
D2852.SLDPRT 836KB
8寸Cassette带Wafer.SLDPRT 773KB
RDSD-xxxx-051001-A1.SLDPRT 492KB
MXS8-30A-M9N_0_0_.SLDPRT 392KB
EVD21-20-S3M100.SLDPRT 318KB
BSA15.SLDPRT 315KB
6‘ Wafer Cassette.SLDPRT 306KB
RDSD-XXXX-051120-A1.SLDPRT 304KB
RDSD-XXXX-051121-A1.SLDPRT 303KB
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料盒.SLDPRT 261KB
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