半导体厂务系统.doc

半导体厂务系统 半导体厂务系统是指半导体制造过程中，涉及到气体供应、纯水供应、化学品供应、洁净室温湿度维持、废水废气处理、电力照明冷却水配合、洁净隔间相关系统维护等多方面的支持性工作。这些工作是半导体制造的基础设施，直接影响着半导体产品的质量和 manufacturing 的效率。 一、半导体厂务工作的种类 半导体厂务工作可以分为以下几类： 1. 一般气体及特殊气体的供应及监控 2. 超纯水之供应 3. 中央化学品的供应 4.洁净室之温度、湿度的维持 5. 废水及废气的处理系统 6. 电力、照明及冷却水的配合 7.洁净隔间、及相关系统的营繕支援工作 8. 监控、辅佐事故应变的机动工作等 二、气体供应及监控 气体供应是半导体制造过程中不可或缺的一环。半导体厂可能使用的气体约有30种以上，每种气体的规格会随制造要求而有所不同。气体可以分为两大类：一般气体（Bulk Gas）和特殊气体（Special Gas）。 * 一般气体包括 N2, O2, Ar, H2等 * 特殊气体可以分为三大类： + 惰性气体（Inert Gas）：He, SF6, CO2, CF4, C2F6, C4H8, CH3F等 + 燃燒性气体（Flammable Gas）：SiH4, Si2H6, B2H6, PH3, SiH2Cl2, CH3, C2H2, CO等 + 腐蝕性气体（Corrosive Gas）：Cl2, HCl, F2, HBr, WF6, NH3, BF2, BCl3, SiF4, AsH3, ClF3, N2O, SiCl4, AsCl3, SbCl5等 三、洁净室温湿度的维持 洁净室温湿度的维持是半导体制造过程中非常重要的一环。洁净室的温湿度必须严格控制，以确保半导体产品的质量。 四、废水废气的处理系统 废水废气的处理系统是半导体制造过程中不可或缺的一环。废水废气必须经过严格的处理，以避免对环境的污染。 五、电力照明冷却水的配合 电力照明冷却水的配合是半导体制造过程中非常重要的一环。电力照明冷却水的供应必须稳定，以确保半导体产品的制造。 六、洁净隔间相关系统的营繕支援工作 洁净隔间相关系统的营繕支援工作是半导体制造过程中非常重要的一环。洁净隔间相关系统的营繕支援工作包括洁净隔间的维修、维护、更新等。 半导体厂务工作是半导体制造过程中不可或缺的一环。它涉及到气体供应、纯水供应、化学品供应、洁净室温湿度维持、废水废气处理、电力照明冷却水的配合等多方面的支持性工作。