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博观而约取
晶
知识
广积而厚发
晶振片知识
一﹑什么是晶振片?
薄薄圆圆的晶振片,来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再经过反复
的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的(厚 0.23mm,直径 13.98mm)圆片,每个圆片
经切边,抛光和清洗,最后镀上金属电极(正面全镀,背面镀上钥匙孔形),经过检测,包装
就可以出厂使用。
晶振片
晶振片包装盒
Inficon 晶振片及包装盒
然而,这样的小薄片是如何工作的?科学家最早发现一些晶体材料,如石英,经挤压就
象电池可产生电流(俗称压电性),相反,如果一个电池接到压电晶体上,晶体就会压缩或伸
展,如果将电流连续不断的快速开关,晶体就会振动。
在 1950 年,德国科学家 GEORGE SAUERBREY 研究发现,如果在晶体的表面上镀一层
薄膜,则晶体的振动就会减弱,而且还发现这种振动或频率的减少,是由薄膜的厚度和密度
决定的,利用非常精密的电子设备,每秒钟可能多次测试振动,从而实现对晶体镀膜厚度和
邻近基体薄膜厚度的实时监控。从此,膜厚控制仪就诞生了。
Inficon 膜厚控制仪(thin film deposition controller)