1.0 系统简介
1.1 系统用途
半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净
的工作环境及稳定与安全的 Utility 供应系统，使工厂生产线运作顺
利，维持高良率。
负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统
之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立
之监控系统(统称为 SCADA，Supervisory Control And Data Acquisition
System) 例如 Mep SCADA、Clean Room SCADA、Power SCADA、
WWT SCADA、DIW SCADA….等。中央监控系统(FMCS)，简单的说
是将许多不同系统性质之监控子系统(SCADA)，进行信息之整合，进
而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信
息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。
1.2 主要设备
厂务监控系统，主要之设备如下：
1. 控制器
‧ PLC (Program Logic Controller)可程控器
‧ DDC (Direct Digital Controller)直接数字控制器
‧ SLC (Single Loop Controller)单回路控制器
‧ DCS (Distribution Control System)分布式控制系统
目前半导体电子厂之 FMCS 架构大都 以 PLC 或空调用 DDC
为 Base 较多。
2. 监控平台﹕
人机界面(Human Machine Interface，HMI)
广义而言，只要是提供操作者与机器设备沟通、操作，控制及
管理的工具接口，都算人机界面(HMI)，例如传统的控制盘，
Mimic Board，Annunciation，控制台 Operation Console...等。
在 FMCS 系统, 所有以往的操控接口都可在计算机上执行，因此
对现代的中央监控系统而言，HMI 指的是透过 PC 及图控软件所
执行的厂务监控设施。一般人机界面包括:
‧ 监控计算机(Engineer、Operator and Other Viewer Station)
‧ 服务器(Data、Alarm、Web or Others Server)
‧ 系统软件
评论2
最新资源