厂务设施中央监控系统设计指引.pdf

厂务设施中央监控系统设计指引主要关注的是在高科技半导体电子厂中如何有效地设计和实施一个中央监控系统，以便管理和维护洁净的工作环境以及稳定的Utility供应。这个系统被称为FMCS（Facility Monitoring and Control System），它的核心目标是确保生产线的顺利运行，提高生产良率。 1. **系统简介** - **系统用途**：FMCS的主要任务是监控和控制半导体电子厂的厂务系统，这些系统包括但不限于Mep SCADA（机械、电气、管道系统）、Clean Room SCADA（洁净室监控）、Power SCADA（电力系统）、WWT SCADA（废水处理）和DIW SCADA（去离子水系统）。通过集成不同的子系统，FMCS创建了一个统一的管理平台，便于操作员和管理层进行高效决策。 - **主要设备**：FMCS通常由可编程逻辑控制器(PLC)、直接数字控制器(DDC)、单回路控制器(SLC)和分布式控制系统(DCS)组成。其中，PLC和DDC在当前的半导体电子厂应用较为广泛。此外，人机界面(HMI)是与系统交互的关键组件，它涵盖了传统的控制面板到现代的图形用户界面。 2. **设计准则** - 设计FMCS时，需要遵循一定的标准和步骤，包括建立厂务监控系统的架构图、根据设备需求制定I/O清单、绘制控制流程图、选择合适的软件、规划控制器和仪器的平面布局、编写厂务监控系统规范书和仪器规范书，以及最终确认和审核设计图纸和规范。 3. **设计步骤与注意事项** - **建立架构图**：明确各个子系统之间的关系，构建整体框架。 - **I/O清单**：根据每个设备的功能需求，列出输入/输出控制点，确保系统的全面覆盖。 - **控制流程图**：描述设备的操作流程，便于理解系统的运行逻辑。 - **软件选择**：挑选适合的监控和数据采集软件，以支持系统功能的实现。 - **平面配置**：考虑控制器和仪器的实际布置，优化空间利用和操作便利性。 - **规范书编写**：详细记录系统设计的各个方面，以便于执行、维护和升级。 - **图面设计与审查**：确保设计图纸符合规定，通过校核、审定和批准确保其准确性。 设计一个高效的FMCS对于半导体电子厂至关重要，因为它直接关系到生产效率和产品质量。通过整合不同系统，FMCS可以实时监控和调整厂务设施，预防故障，优化能源使用，降低运营成本，并提供数据分析以支持持续改进。因此，深入理解FMCS的设计原则和技术细节是确保系统成功实施的关键。