1 失效分析能力要求 5
1.1 失效分析设备要求 5
1.2 失效分析实验室环境要求 7
2 失效分析流程 7
2.1 流程图 7
2.2 确定失效问题 8
2.3 失效样品背景信息调查 9
2.4 故障复现和故障位置的定位 9
2.5 无损分析 9
2.5.1 外观分析 9
2.5.2 X-ray 9
2.5.3 C-SAM 10
2.5.4 3D测量仪 10
2.6 对可能的失效原因假设 10
2.7 分析和验证 10
2.8 给出失效原因和失效机理 10
2.9 重现试验 10
2.10 改进措施 11
2.11 后续跟踪 11
3 常见的失效方法 11
3.1 外观分析 11
3.2 机械结构尺寸测量 12
3.3 电测 13
3.4 染色起拔 13
3.5 切片分析 13
4 失效分析实验室日常管理 14
4.1 实验室人员职责 14
4.2 全员设备维护（TPM） 14
4.3 测量系统分析(MSA) 15
4.4 文件管理 15
5 参考文件 15
