Tsuprem4 2013版 User Guide

TSUPREM4的前身为SUPREM，由美国斯坦福大学开的。迄今已经先后经历了四代。第一代名为SUPREM-I，发表于1977年，仅在试验室条件下进行了试用。1980年推出了第二代版本SUPREM-II，进行了世界范围内的技术转让，有了一定的产业化应用。1983年又对原版本做了较大修改推出了第三代版本SUPREM-III。这三个版本是针对硅加工过程的一维工艺模拟软件，几乎可以处理硅集成电路的全部制作工序。美国TMA公司集相关技术成果在前三个版本的一维模拟基础之上，历经近10年的时间，于1997年推出了对集成电路平面制造工艺进行二维模拟的第四代版本TSUPREM-IV（最初由美国TMA公司组织开发）。

Medici 2013版 User Guide

Medici 是先驱（AVANTI）公司的一个用来进行二维器件模拟的软件，它是最经典的半导体器件模拟软件，它对势能场和载流子的二维分布建模，通过解泊松方程和电子、空穴的电流连续性等方程来获取特定偏置下的电学特性。用该软件可以对双极型、MOS型等各种类型的晶体管进行模拟，可以获得一个器件内部的电势和载流子2-D分布，可以预测任意偏置下的器件特性。

Medici_3D_Data_Extraction.py

提取一维Medici仿真数据，并整合为三维数据。 将Medici_3D_Data_Extraction、仿真求解结果文件和网格文件(需要命名为mesh或mesh.tif)放在同一文件夹。填写Medici_3D_Data_Extraction的参数：器件宽度，提取间距，开始位置，仿真求解结果文件，提取名称。然后：选择网格文件，点击Generate Plot按钮，点击run plot按钮，点击Extraction按钮。最终将生成一个3D_data文件。

taurus_medici_vH_2013.03.rar

Medici is a powerful device simulation program that can be used to simulate the behavior of MOS and bipolar transistors and other semiconductor devices. Medici models the two-dimensional (2D) distributions of potential and carrier concentrations in a device. The program can be used to predict electrical characteristics for arbitrary bias conditions.

taurus_tsuprem4_vH_2013.03.rar

TSUPREM-4 is a computer program for simulating the processing steps used in the manufacture of silicon integrated circuits and discrete devices. TSUPREM-4 simulates the incorporation and redistribution of impurities in a two-dimensional (2-D) device cross-section perpendicular to the surface of the silicon wafer. The output information provided by the program includes: • Boundaries of the various layers of materials in the structure • Distribution of impurities within each layer • Stresses produced by oxidation, thermal cycling, or film deposition