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一种晶圆搬运机械手的运动学仿真研究. 评分:

对一种搬运机械手的结构及相关参数进行了设计,介绍了该机械手的运动原理,运用代数法对机械手的关节 角和末端执行器坐标之间的关系进行了数学计算,得到了机械手的运动学方程。
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