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平面度误差检测
平面度误差检测
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详细讲解平面度测量方法与技巧,很有学习价值
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斜入射法检测平面反射镜的面形误差
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为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,发展了斜入射检测方法,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式,并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124 mm×42 mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量,垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根(RMS)和峰谷(PV)值分别为16.3 nm和67.8
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基于双目视觉和投影圆的平面度非接触检测方法 (2013年)
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然后由经标定的双目视觉传感器采集后,采用Zernike矩定位亚像素边缘,用透视投影变换形心移位偏差控制方法计算出形心坐标,最后采用对极几何匹配计算出圆心三维坐标,得到被测量物体的平面度误差。实验证明,该测量方法...
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深孔轴线直线度误差检测方法
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平面度误差的最小二乘法分析
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本文就平面的误差的数学模型与最小乘法建立理想平面的数学模型展开分析讨论;并结合事例分析,得出较客观的评定平面误差或测量较大的平面度误差,最小二乘法是最佳的方法。
拼接式反射镜共相误差检测
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推导了镜面旋转对称法检测矩形平面镜面形的公式,应用该方法设计了高精度矩形平面镜的测试实验,并进行了误差分析。实验结果表明,与传统三平板绝对测量方法相比较,两种方法在高度轮廓误差和斜率误差方面的计算结果...
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