本文主要对稳态微聚束(SSMB)光源原理进行了综述，SSMB原理采用激光操控储存环中的电子，形成具有精微纵向/时间结构的电子束团，提供高平均功率、窄带宽的相干辐射，波段可覆盖从太赫兹到软X射线，具有巨大的科学及产业应用前景。
综述了现有加速器光源—同步辐射光源和自由电子激光的概念及潜力、原理验证实验进展、核心物理及关键技术挑战、清华SSMB-EUV光源方案及其对科学研究和芯片光刻潜在的变革性影响。
加速器光源简介：速度接近光速的带电粒子在电磁场中做偏转运动时，沿运动轨迹的切线方向会发出电磁辐射。这种电磁辐射最早于1947年在电子同步加速器上被发现，因此被称为同步辐射(SR)。SR具有高亮度、宽能谱、高准直性和偏振性等特点，因此人们从20世纪70年代开始建设专门用于产生SR的电子储存环。
SR光源装置包括电子产生及加速的电子注入器、储存电子束的电子储存环、以及将产生的SR光应用于物理、化学、材料、生物等各类科学研究的光束线站。至今，SR光源在追求更高的亮度和更好的相干性的发展中，已历经四代。在中国大陆，北京同步辐射装置(BSRF)属于第一代，合肥光源(HLS)属于第二代，上海光源(SSRF)属于第三代，目前正在北京怀柔建设的高能同步辐射光源(HEPS)属于第四代。
SR光源的亮度定义为单位时间、单位面积、单位发散角、0.1%带宽内的光子数，用以描述光源在六维相空间中的光子密度。光源的相干性是指为了产生显著的干涉现象，光源所需具备的性质，具体可分为横向相干性和纵向相干性，又称空间相干性和时间相干性。
稳态微聚束(SSMB)原理采用激光操控储存环中的电子，形成具有精微纵向/时间结构的电子束团，提供高平均功率、窄带宽的相干辐射，波段可覆盖从太赫兹到软X射线，具有巨大的科学及产业应用前景。
综述了清华SSMB-EUV光源方案对科学研究和芯片光刻潜在的变革性影响，SSMB光源可提供高平均功率、窄带宽的相干辐射，波段可覆盖从太赫兹到软X射线，对科学研究和芯片光刻具有巨大的应用前景。
本文对稳态微聚束(SSMB)光源原理进行了综述，SSMB原理具有巨大的科学及产业应用前景，对科学研究和芯片光刻具有巨大的应用前景。
