化学机械抛光液(CMP)氧化铝抛光液具.doc资源-CSDN文库

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化学机械抛光液（CMP）氧化铝抛光液
化学机械抛光液（CMP）氧化铝抛光液........ ....... .............. ....... ....... ....... .............. .............. 1
一、行业的界定与分类...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .... .. .. .... .. .. .... .. .. ... 2
（一）化学机械抛光...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... .. . 2
1、化学机械抛光概念.................... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... ....... .... .. .. . 2
2、CMP 工艺的基本原理...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .......... 2
3、CMP 技术所采用的设备及消耗品...................... .............. ....... ....... ....... .................. 2
4、CMP 过程...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ............... 3
5、CMP 技术的优势...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ................... .... . 3
（二）化学机械抛光液...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. .. .. .. 3
1、化学机械抛光液概念.................... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... .. .... .. .. .. 3
2、化学机械抛光液的组成.................... ....... ....... .............. ....... ....... .............. .. .. .... .. .. ... 3
3、化学机械抛光液的分类.................... ....... ....... .............. ....... ....... .............. .. .. .... .. .. ... 4
4、CMP 过程中对抛光液性能的要求...................... .............. ....... ....... ....... .................. 4
（三）化学机械抛光液的应用领域...................... .............. ....... ....... ....... ......... .. .. .... .. .. .... .. . 4
二、原材料供应商...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. .. .. .... .. .. .... .. .. . 4
三、化学机械抛光液行业现状...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... ......... .. .. ... 4
（一）抛光液行业现状...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. .. .. .. 4
1、国际市场主要抛光液企业分析.................... ....... ....... .............. ....... .. .... .. .. .... .. .. .... .. 5
2、我国抛光液行业运行环境分析.................... ....... ....... .............. ....... .. .... .. .. .... .. .. .... .. 5
3、我国抛光液行业现状分析.................... ....... ....... .............. ....... ....... ......... .. .. .... .. .. .... 5
4、我国抛光液行业重点企业竞争分析.................... ....... ....... .............. ....... ....... ......... . 6
（二）抛光液行业发展趋势...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .... .. .. .... 6
（三）抛光液行业发展的问题...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... .. .... .. .. .... . 6
四、需求商...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... ....... ......... .. .. .... .. 6
（一）半导体硅材料...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... .. . 7
1、电子信息产业介绍.................... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... ....... .... .. .. . 7
2、半导体硅材料的简单介绍.................... ....... ....... .............. ....... ....... ......... .. .. .... .. .. .... 7
（二）分立器件行业...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. ....... .. . 8
（三）抛光片...................... .............. ....... ....... ....... .............. ....... ....... .............. .. .. .... .. .. .... .. .. . 9