论文研究- 强化晶圆退火重复性的方法研究 .pdf

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强化晶圆退火重复性的方法研究 ,李贇佳,黄其煜,超浅结制造技术是支撑超大规模集成电路进一步发展的关键技术,本文以其中的关键工艺--Spike Anneal(尖峰退火)为切入点,对激活Source/Dr

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